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用熱處理來增強(qiáng)氧化鋅中的氮摻雜

發(fā)布時(shí)間:2017-12-22 16:19 作者:氧化鋅

  氧化鋅廠經(jīng)過熱處理來增強(qiáng)氧化鋅中的氮摻雜的研究工作現(xiàn)已打開。運(yùn)用光致電子順磁共振技能(EPR),并在空氣或許氮?dú)夥障略?00-900溫度范圍內(nèi)退火,在運(yùn)用該方法制備的氮摻雜氧化鋅晶體中,調(diào)查到了氮受主的構(gòu)成。這一成果的原因是N在熱退火過程中替代為淺的施主雜質(zhì)。
      固源化學(xué)氣相淀積法(SS-CVD)也可以用來氧化鋅的N摻雜。二水醋酸鋅(Zn(CH3COO)2·2H2O, solid)和(CH3COONH4, solid)別離作為固體源和N源。試驗(yàn)成果的樣品顯示出P型導(dǎo)電性,空穴濃度為9.8×1017 cm?3,電阻率20Ωcm,空穴遷移率0.97cm2 /V s。
      雖然上面報(bào)道說現(xiàn)已成功的獲得了N摻雜的氧化鋅薄膜,但也有相當(dāng)多的報(bào)道,作者沒有可以重復(fù)這些成果,即便選用相同的成長方式,相同的成長條件和相同的N源。因而,即便以為該陳述的成果表明是真實(shí)的p型氧化鋅,重現(xiàn)這些成果仍是一個(gè)大問題,而且這個(gè)問題必須得在氧化鋅應(yīng)用于光電子學(xué),如同質(zhì)結(jié)LED和激光二極管(LDs)之前處理。最后,這個(gè)問題至少比及高效率注入的ZnO的p - n結(jié)才干處理。

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